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基于反鐵磁材料的室溫垂直交換耦合作用和隧道各向異性磁電阻效應
研究了垂直磁化的Co/Pt 和面內磁化的反鐵磁IrMn 之間的交換耦合作用,以及隧道結[Pt/Co]/IrMn/AlOx/Pt 的隧道各向異性磁電阻效應(TAMR)。
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基于過濾陰極真空電弧鍍(FCVA)制備類金剛石薄膜(DLC)及其場發射性能分析
本課題通過FCVA 方法制備DLC 薄膜,利用拉曼光譜、AFM 等方法,分析其內部結構,表征其微觀結構形貌,并測試場發射性能。
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影響磁控濺射制備TiO2 薄膜性能的因素研究
從研究制備條件對Ti02薄膜的透射率及光學常數的影響出發,利用分光光度計測量薄膜的透射率,橢圓偏振光譜儀作為確定薄膜光學參數的測試儀器,研究了不同制備條件對Ti02薄膜光學特性的影響。
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離子源對中頻反應濺射沉積AlN 薄膜結構和性能的影響
本文采用離子源輔助中頻反應磁控濺射技術沉積AlN 薄膜,通過中頻反應磁控濺射解決了因“靶中毒”引起的“打火”和沉積速率大幅度下降的問題;同時利用離子源輔助沉積,進一步提高離化率,從而提高所沉積薄膜的質量。
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高品質金剛石厚膜的微波等離子體CVD沉積技術
金剛石膜擁有許多優異的性能。在制備金剛石厚膜的各種方法之中,高功率微波等離子體化學氣相沉積(MPCVD)法因其產生的等離子體密度高,同時金剛石膜沉積過程的可控性和潔凈性好,因而一直是制備高品質金剛石厚膜的首
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