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氣體捕集真空泵

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推薦集成電路制造中低溫泵的應用及產(chǎn)品發(fā)展現(xiàn)狀

本文介紹了國內(nèi)集成電路制造中進口低溫泵產(chǎn)品的技術發(fā)展現(xiàn)狀，并對比了不同產(chǎn)品的技術特點。闡述了國產(chǎn)低溫泵進軍集成電路制造業(yè)的歷程與現(xiàn)狀。

分子篩的吸附原理及應用

分子篩的吸附原理及應用
分子篩的結構與常見種類

分子篩的結構與常見種類
EAST裝置的內(nèi)置式低溫冷凝泵系統(tǒng)

介紹了內(nèi)置式低溫泵系統(tǒng)的基本設計、制造和性能測試
低溫泵抽氣性能測試平臺的抽速測量不確定度研究

介紹了低溫泵抽氣性能測試平臺的組成和抽速測量的基本原理,分析了壓力和充氣量的不確定度分量來源
G-M低溫泵系統(tǒng)的故障診斷與分析

低溫泵系統(tǒng)的故障主要有: 壓縮機故障、低溫泵故障和再生故障。壓縮機故障又分為潤滑油泄漏、氦氣泄漏、不能啟動和噪音。低溫泵故障又分為低溫泵不能冷卻、低溫泵噪音。
制冷機冷卻型超導磁體杜瓦的研制

介紹了帶制冷機冷卻的超導磁體系統(tǒng)杜瓦的設計、制作及實驗結果分析。
G-M制冷機冷卻的超導磁體研制及性能試驗

針對超導磁體液氦易揮發(fā)、需要不斷補充的問題,為研制的超導磁體加裝了G-M制冷機.
冷凝泵的內(nèi)部構造、工作原理及其維護保養(yǎng)

分析了冷凝泵的內(nèi)部構造、工作原理, 詳細敘述了工作時的相位關系。
鈦升華泵在提高同步輻射環(huán)真空度上的作用

鈦升華泵能有效提高同步輻射裝置在高能量、大流強運行時的真空度，從而改善束流壽命，提高供光效率。
中性束系統(tǒng)大抽速低溫泵的參數(shù)和計算

對中性束的主要氣源進行了說明，低溫泵的抽速，熱負荷以及極限壓力進行了初步的計算。
中性束系統(tǒng)大抽速低溫泵的基本結構

中性束系統(tǒng)大抽速低溫泵的主體基本結構，即：以頂部主法蘭為固定支撐，4.5K雙面活性炭涂層的低溫冷面結合77K的經(jīng)黑化處理過的V字型折流板為主體部件的液氦和液氮雙回路系統(tǒng)。
中性束系統(tǒng)大抽速低溫泵的工作原理

闡述了用于中性束束線的大抽速低溫泵的工作原理。
液氮溫度下JX-6型椰殼炭的性能測試

本文選取JX-6型椰殼活性炭，用全自動比表面積及孔徑分析儀在液氮溫度下對其性能進行了測試，并對實驗數(shù)據(jù)進行了分析。
非蒸散型吸氣劑在微型離子泵中的應用

為確保小尺寸超高真空密封器件的高可靠和長壽命，開發(fā)了一種帶非蒸散型吸氣劑的微型復合離子泵，并研究了非蒸散型吸氣劑對器件存儲和微型離子泵啟動特性的影響。
幾種組合吸附劑的吸氫等溫線的測定及分析

測定了幾種組合吸附劑在低壓室溫下的吸氫等溫線,該組合吸附劑是由5A分子篩和含有不同比例PdO和Ag2O的吸氣劑組成的。本文對這些吸氫等溫線進行了分析,擬合出在一定范圍內(nèi)適用的吸氫等溫方程式。
用制冷機低溫泵獲得清潔無油高真空

制冷機低溫泵以其抽速大和無污染的特點，在各行各業(yè)得到了廣泛的應用。文章介紹了制冷機低溫泵的工作原理、結構和特點，著重介紹了自主設計生產(chǎn)的制冷機低溫泵在國內(nèi)最大的空間環(huán)境模擬設備中調(diào)試和測量的情況，為獲
蒙特卡洛法計算鈦升華泵抽氣速率的結果與討論

用蒙特卡洛法計算了HIRFL-CSR 鈦升華泵對于不同氣體吸附系數(shù)在分子流條件下的吸附概率,分析了擋板的形狀和設置位置對吸附概率的影響,并得到了對H2抽速的計算與實驗數(shù)據(jù)相接近的結果。
HIRFL-CSR鈦升華泵的設計

鈦升華泵與其他無油泵相比,在相同抽氣口徑下具有抽速大、極限真空高(與離子泵配合) 、使用壽命長、結構簡單、操作方便、價格便宜等優(yōu)點。作者自行研制了適用于超高真空系統(tǒng)的HIRFL-CSR 鈦升華泵。
鈦泵的結構與抽氣機理及維護

介紹加速中的鈦濺射離子泵的工作原理、結構原理和基本維護方法。
用鈦升華泵提高BEPCII同步輻射環(huán)真空度

BEPCII同步輻射要求儲存環(huán)真空室在束流運行時具有較高的真空度，而在供光初期由于束流清掃不夠，往往難以達到足夠高的真空度，因而束流壽命較低。通過激活同步輻射儲存環(huán)上的鈦升華泵可以明顯提高真空度，從而改善束