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微型化原子磁力儀靈敏度上限的原子氣室尺寸依賴性分析

本文通過分析原子磁力儀的工作原理，對堿金屬原子在原子氣室中的自旋弛豫過程進行了深入分析，并通過理論計算探究了氣室尺寸對原子磁力儀靈敏度上限的影響規律，為微型化原子磁力儀的優化設計提供理論依據。

提高含硅納米晶LED亮度的方法研究

本文研究了Si-nc濃度、襯底材料的電阻率、Si-nc與不同基體之間的界面勢壘、場效應、電致表面等離子體等方法對硅納米晶的電致發光強度的影響。

硬質涂層的發展、現狀及未來

未來隨著工業需求的不斷增加，對硬質涂層的要求也將愈發嚴格。未來的涂層將有兩大趨勢：超硬涂層和低摩擦系數涂層。

真空技術在海水淡化領域的應用現狀與發展趨勢

本文主要綜述真空技術在海水淡化領域里的應用、現狀和發展方向，討論大規模從海水生產淡水的有關問題。

真空過濾設備操作安全注意事項

本文列舉了真空過濾設備操作安全注意事項。

環氧底漆表面合成超疏水涂層減阻性能研究

本文采用大氣壓冷弧等離子體射流在防腐涂料表面上沉積超疏水涂層，研究了超疏水涂層的表面潤濕性、物理形貌及化學成分的變化，并利用差壓流阻測試裝置對比了等離子沉積超疏水涂層前后的減阻效果，分析了其減阻機理。

晶硅良好表面鈍化技術及其在n型電池中的應用

本文旨在分析與綜述近年來常用的電池鈍化技術機理，各種鈍化薄膜制備、性質與電池中應用情況，介紹快速發展的典型n 型電池結構及鈍化技術在其中的應用，為下一步快速發展的電池鈍化技術提供思考與借鑒。

AuPdPt-WC/C復合材料作為直接甲醇燃料電池陰極催化劑的性能研究

本實驗以碳化鎢(WC)增強的AuPdPt-WC/C復合催化劑作為直接甲醇燃料電池(DMFC)的陰極催化劑，選取了各組元比例，溫度為變量，測試了其作為DMFC 催化劑的性能。

納米壓印連續脫模與分段脫模數值模擬研究

納米壓印脫模過程中模板和膠層根部應力集中現象可能會導致光刻膠成型破損，這是影響壓印質量好壞的主要原因之一。本文進行了連續脫模和分段脫模脫模過程數值模擬，獲得了脫模過程中的有效應力分布和變化。

基于等離子體氧化技術的醫用鈦材料親水性表面制備研究

本文采用噴砂酸蝕(Sandblasting and acidetching，SLA)處理后的鈦試樣進行等離子體氧化的優化。選擇不同的工藝參數進行試驗，在試驗范圍內，得出最優的工藝參數，并分析優化后的鈦試樣表面的成分、價態以及接觸角。

直線等離子體裝置中氬等離子體熱負荷特性研究

為了了解裝置中等離子體所攜帶的熱負荷特性，本文通過測量不同輸出功率下氬等離子體在不同磁場、不同流量時的熱負荷，研究了氬等離子體的熱負荷特性，詳細介紹了磁場、氣體流量和輸出功率對氬等離子體熱負荷的影響，

刻蝕機裝備設計中的序貫試驗設計方法研究

450mm晶圓刻蝕機開發中大量應用確定性仿真來模擬腔室內部物理、化學環境，并通過仿真結果指導裝備結構的詳細設計。為控制仿真試驗的采樣規模以縮短開發周期，本文詳細介紹一種新型的基于采樣密度和非線性度的序貫設

低溫多效海水淡化用蒸汽噴射器的優化設計

提高蒸汽噴射器性能，能夠降低低溫多效海水淡化系統能耗，采用理論推導和數值模擬相結合的方法對噴射器性能進行研究。在噴射器索科洛夫設計方法的基礎上，修正了噴射器最大可達噴射系數的計算模型。

工作氣壓對多脈沖鞘層動力學行為的影響

電子束快速成型機聚焦及偏掃系統的工程實現

闡述了電子束快速成型機聚焦及偏掃系統在工程上所遇到的幾個問題及解決方法。本文介紹電子束快速成型機聚焦及偏掃系統幾個工程問題的解決方法。

電感耦合放電對雙頻容性耦合Ar-N2等離子體物理特性的影響

本文使用電感耦合增強的雙頻容性等離子體化學氣相沉積系統，采用不同頻率組合放電產生等離子體，探索產生高密度均勻等離子體的條件。

ICP刻蝕4H-SiC柵槽工藝研究

為避免金屬掩膜易引起的微掩膜，本文采用SiO2作為掩膜，詳細研究了不同工藝參數包括ICP功率、RF偏壓功率、壓強、氧氣含量等對SiC槽柵區域的刻蝕速率、SiC與SiO2的刻蝕選擇比、刻蝕形貌的影響。

真空技術在電裝工藝中的應用

真空技術在電裝工藝中的應用，主要是真空灌封、真空浸漆和真空涂覆等幾個方面。

真空水力輸送管道的數值模擬研究

分析了不同類型真空排水系統水力輸送的研究重點。討論了真空水力輸送管道的流動形態及其非恒定流問題。介紹了一種用于真空水力輸送管道模擬的氣液雙流體模型。

SIMS濺射深度剖析的定量分析

本文綜述了二次離子質譜(Secondary Ion Mass Spectroscopy，SIMS)濺射深度剖析的發展歷史，介紹了SIMS 濺射深度剖析的定量分析方法。